阿爾泰科技產(chǎn)品在無塵室環(huán)境中的應用
概述
無塵室是半導體生產(chǎn)的關(guān)鍵設(shè)施。不對生產(chǎn)過程進行嚴格的控制將產(chǎn)生有缺陷的芯片并且浪費寶貴的資源。對無塵室環(huán)境的監(jiān)控包括管理空氣過濾系統(tǒng)、控制系統(tǒng)以及監(jiān)測室內(nèi)的溫度、濕度、壓力、氣體成分和其它參數(shù)。為半導體制造商工作的現(xiàn)場工程師希望能夠連續(xù)簡單地使用無塵室環(huán)境監(jiān)控系統(tǒng)。這樣的系統(tǒng)應該能夠收集數(shù)據(jù)進行分析，確保制造過程在可接受的參數(shù)下進行，從而防止問題的發(fā)生。系統(tǒng)應該確保加工過程符合半導體工業(yè)標準-一個非常重要的因素。用DAM-3000 系列數(shù)據(jù)采集模塊構(gòu)成一個**的無塵室監(jiān)測系統(tǒng)的核心。它們提供了一個經(jīng)濟的、易于實施的解決方案。
系統(tǒng)要求
半導體制造商需要靈活、易于使用的系統(tǒng)。操作員需要獲取和分析整個工廠的信息，這些信息通過輪流查詢詢遍布工廠的遠程傳感器而得到。他們想將一個新的系統(tǒng)增加到現(xiàn)有的加工過程和設(shè)備中，而不干擾或修改已經(jīng)建設(shè)好的控制系統(tǒng)。自然地，制造商想要一個低成本的解決方案，并且在理想狀況下應該是一個總監(jiān)管系統(tǒng)。
系統(tǒng)配置：
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產(chǎn)品型號
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性能指標
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DAM-3018
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繼電器輸出：8路A型繼電器
LED指示輸出狀態(tài)
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DAM-3058
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輸入類型：V、mA
輸入通道：6路差分，2路單端/8路差分
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DAM-3027
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輸入：8路TTL電平
邏輯電平0：+1V max
邏輯電平1：+2.4V min
輸出：8路TTL輸出
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阿爾泰解決方案
系統(tǒng)拓撲圖
我們開發(fā)了一個基于RS-485多點網(wǎng)絡(luò)的解決方案。為保護無塵室，系統(tǒng)必須有效可靠地監(jiān)視過濾器風扇。DAM-3027數(shù)字量輸入輸出模塊可以很好地執(zhí)行這項重要任務。DAM-3058具有8路模擬量輸入處理能力，能夠**地監(jiān)視空氣溫度、壓力和濕度，防止塵埃的增加。
風淋室是為工作人員進出潔凈區(qū)所設(shè)置的專用通道，可以有效的降低外部人員進入潔凈區(qū)所帶來的污染問題，并同時起到氣閘室密閉潔凈室的作用。風淋室通用性強，可與所有的潔凈室與潔凈廠房配套使用。使用DAM-3026模塊來控制風淋室和貨料進入的門禁系統(tǒng)，防止外來人員的入內(nèi)，增加無塵室的塵埃，影響生產(chǎn)。DAM-3018來控制鼓風機的運轉(zhuǎn)，一般的風淋室的風速要達到20m/s左右，普通的風扇達不到這種要求，所以需要風機來操作。